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電子級純水TOC總有機碳標準及檢測：精確測量與嚴格標準


2025.08.06　瀏覽量：11 次
在電子和半導體制造過程中，高純水的水質對產品質量和工藝穩定性至關重要?？傆袡C碳（TOC）是衡量水質純度的關鍵指標之一。根據國家標準《GB/T 11446.1-2013 電子級水》，電子級純水的TOC標準分為四個等級，每個等級對應不同的TOC含量限值。同時，國家標準《GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法》規定了TOC的檢測方法，下面就和贏潤集團工作人員一起來了解一下吧！
半導體電子行業用純化水系統現場圖
電子級純水中的TOC總有機碳標準是什么？
電子級純水作為半導體和電子制造過程中不可或缺的一部分，其水質的純凈度直接影響到產品的質量和生產效率。根據國家標準《GB/T 11446.1-2013 電子級水》，電子級純水的TOC總有機碳標準分為四類：EW-Ⅰ TOC≤20μg/L、EW-Ⅱ TOC≤100μg/L、EW-Ⅲ TOC≤200μg/L、EW-Ⅳ TOC≤1000μg/L。這些嚴格的分類確保了不同應用場景下對水質的不同需求得到滿足。

TOC檢測的重要性體現在哪些方面？
TOC檢測對于保證電子級純水的質量至關重要。例如，在半導體制造中，即使微量的有機污染物也可能影響芯片的性能。因此，維持低水平的TOC濃度是必要的。此外，飲用水的安全也依賴于嚴格的TOC控制，以防止有害有機物的存在。

如何準確地檢測水中TOC含量？
檢測電子級純水中的TOC含量依據的是《GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法》。此方法采用過硫酸鹽氧化結合紅外線分析儀來測定總碳(TC)，然后通過計算TC與總無機碳(IC)之差獲得TOC值。這種方法不僅準確，而且適用于多種水質樣品的分析。

如何選擇合適的TOC檢測方法和技術？
選擇適合的TOC檢測方法需考慮多個因素，包括但不限于待測水樣的類型、所需的檢測精度以及預算限制。例如，對于高要求的電子行業來說，采用更先進的紫外光催化氧化技術可能更為合適，而對于日常飲用水監測，則可以選用成本較低但同樣有效的其他方法。

市面上有哪些先進的TOC檢測設備？
贏潤集團研發生產的ERUN-SP3-J3水質微量總有機碳TOC分析儀器是一個優秀的例子。該設備利用紫外光催化氧化技術，配合精密微量自動進樣模塊，無需外部添加催化劑或載氣，大大提高了測試效率。ERUN-SP3-J3不僅能夠檢測TOC、TC、TIC等指標，還能進行不可吹掃總有機碳(NPOC)的測量，適用于制藥、超純水監測等多個領域。
半導體電子行業用純化水水質總有機碳TOC測定儀
電子級純水的TOC檢測對于保障電子和半導體制造過程中的水質純度至關重要。通過遵循國家標準《GB/T 11446.1-2013 電子級水》和《GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法》，企業可以確保水質符合工藝要求。贏潤集團的ERUN-SP3-J3水質微量總有機碳TOC分析儀器以其高精度、自動化和多場景應用的特點，為水質檢測提供了可靠的解決方案。